根據(jù)中國直線電機(jī)行業(yè)和國內(nèi)直線電機(jī)產(chǎn)業(yè)發(fā)展分析，認(rèn)為目前主要的直線電機(jī)組合方式有以下三種：1.高精密直線電機(jī)單軸平臺(tái) 單軸通常作為X軸使用，CCTL直線電機(jī)平臺(tái)采用日本原裝THK-P級(jí)直線導(dǎo)軌搭配英國Renishaw光柵尺及以色列servotronix驅(qū)動(dòng)器并配有限位開關(guān)等高端進(jìn)口部件，性能穩(wěn)定可靠，噪音少，壽命長。主要用于半導(dǎo)體、電子生產(chǎn)、研磨類機(jī)床、醫(yī)療、工具機(jī)、印刷、激光焊接行業(yè)等行業(yè)，如晶圓檢測(cè)與探測(cè)、半導(dǎo)體固晶機(jī)、半導(dǎo)體金線焊線機(jī)、高速取放與傳送設(shè)備、激光切割、激光雕刻、激光打標(biāo)、3D打印設(shè)備、LCD/TFT生產(chǎn)與檢測(cè)平臺(tái)等。 2.高精密XY軸十字直線電機(jī)平臺(tái) X軸（上）與Y軸（下）組合精度高，均采用高端進(jìn)口零部件。直線電機(jī)模組的高加速度、高速度、高精度的優(yōu)勢(shì)在本平臺(tái)上得以體現(xiàn)，同時(shí)電機(jī)線圈與磁軌為無接觸運(yùn)行、無磨損、無反向間隙，所以其維護(hù)要求極低。 在微米工程等級(jí)的應(yīng)用以及晶圓設(shè)備中尤其重視絕對(duì)精度及潔凈室適用性，采用高精度XY直線電機(jī)平臺(tái)為最佳選擇。3.XYZ龍門直線電機(jī)平臺(tái) 龍門平臺(tái)采用直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)和雙軸同步控制技術(shù)，具有高加速度、高速度、高穩(wěn)定性和高可靠性等特點(diǎn)。廣泛應(yīng)用于高速測(cè)試、激光切割、激光雕刻、高速準(zhǔn)確取放、自動(dòng)化裝配、圖像檢測(cè)、點(diǎn)膠機(jī)與包裝等裝置。

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