設(shè)備功能介紹：本設(shè)備主要用于晶體硅太陽(yáng)能電池制造中硅片的擴(kuò)散摻雜。擴(kuò)散是半導(dǎo)體工藝生產(chǎn)中的一種關(guān)鍵工藝，通過(guò)擴(kuò)散所形成的PN結(jié)，就是晶體硅太陽(yáng)能電池的核心。應(yīng)用產(chǎn)品型號(hào)：MSST10-Q-RN、23HS3002-29、STM23S-3RE、23HS3811-04產(chǎn)品應(yīng)用介紹：熱擴(kuò)散爐用2個(gè)MSST10-Q-RN、2個(gè)23HS3002-29;(PECVD用1個(gè)STM23S-3RE、1個(gè)MSST10-Q-RN、1個(gè)23HS3811-04)步進(jìn)電機(jī)用于驅(qū)動(dòng)圖中四個(gè)黑框里的模塊上下、前后移動(dòng)，一個(gè)電機(jī)裝在模塊上，通過(guò)變速箱+絲杠帶動(dòng)模塊做上下運(yùn)動(dòng)，一個(gè)電機(jī)通過(guò)皮帶+滾珠絲杠帶動(dòng)模塊水平運(yùn)動(dòng)。設(shè)備中共有四個(gè)工控機(jī)，每個(gè)工控機(jī)控制兩個(gè)驅(qū)動(dòng)器(一個(gè)模塊)。目的是送料進(jìn)入爐中，或從爐中取料出來(lái)。應(yīng)用環(huán)境參數(shù)：負(fù)載：同步帶負(fù)載，長(zhǎng)度3米。上位機(jī)：研祥工控機(jī)，控制模式：主機(jī)控制模式，SCL語(yǔ)言編程，客戶自己編寫程序;RS485通訊，兩軸控制，無(wú)需插補(bǔ)運(yùn)動(dòng);正反轉(zhuǎn)限位提供機(jī)械保護(hù);電源：24V開(kāi)關(guān)電源;細(xì)分：20000 step/rev;速度：300rpm;動(dòng)作，低速往復(fù)運(yùn)動(dòng)，運(yùn)行10分鐘，靜止1小時(shí)。客戶選用的原因：主機(jī)編程控制，實(shí)現(xiàn)全數(shù)字化控制，抗干擾能力強(qiáng)。
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